2026年11月10日，佳能在东京宣布，将于2026年12月上旬发售面向存储和逻辑芯片的KrF*1扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a”。佳能半导体光刻机新产品——KrF扫描式半导体光刻机&