来自无锡高新区管委会的公告显示，今天国产首台28纳米关键尺寸电子束量测量产设备在锡成功出机。次出机的28纳米关键尺寸电子束量测量产设备，由无锡亘芯悦科技有限公司自主研制，在电子光学系统、运